专利授予用于加工溅射的IC单元的装置及方法
洛科系统私人有限公司，洛科集团旗下的设备部很荣幸地报告，其专利相关题要为“用于加工溅射的IC单元的装置及方法”已被中国中华人民共和国正式授予专利号 ZL 2015 8 0054591.3.
中国专利号：ZL 2015 8 0054591.3，自申请日2019年9月24日起，将有二十年有效期限。
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