专利授予用于加工溅射的IC单元的装置及方法
洛科系统私人有限公司，洛科集团旗下的设备部很荣幸地报告，其专利相关题要为“用于加工溅射的IC单元的装置及方法”已被美国正式授予专利号 10,907,247.
美国专利号：10,907,247. 自申请日2015年8月12日起，将有二十年有效期限。
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