专利授予处理多基底的装置和方法

洛科创业私人有限公司,洛科集团的设备部很高兴地报告,其专利相关题要为“ 处理多基底的装置和方法”集成电路单元的处理专利已在新加坡被正式授予专利号142402。

新加坡专利号: 142402,自申请日2008年05月02日起,将有二十年有效期限。